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J-GLOBAL ID：200903090282649963

ステージ装置

Inventor：
徳島 忍

About 徳島 忍


Applicant, Patent owner：
株式会社目白プレシジョン

About 株式会社目白プレシジョン


Agent (1)： 津国 肇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002122508
Publication number (International publication number)：2003316440
Application date： Apr. 24, 2002
Publication date： Nov. 07, 2003
Summary：
【要約】【課題】 直進方向のみならず、回転方向の移動においても、ステージを的確に位置決めをすることができるとともに、応答性を高くして高速にステージを移動させることができるステージ装置を提供する。【解決手段】 可動テーブルを有するステージの一の端部と他の短部とを移動可能に軸支する可動支持手段と、可動テーブルと可動支持手段とを制御する位置制御手段と、を含む
Claim (excerpt)：
可動テーブルを有するステージの一の端部を軸支しかつ移動可能な第1可動支持手段と、前記ステージの他の端部を軸支しかつ移動可能な第2可動支持手段と、前記可動テーブル、前記第1可動支持手段及び第2可動支持手段の各々を所定の位置に位置付ける制御を行う位置制御手段と、を有し、かつ、前記第2可動支持手段の軸支部は、前記可動テーブルの移動方向に沿って前記ステージに対して移動可能であることを特徴とするステージ装置。
IPC (5)：
G05D 3/00 ,  B23Q 1/44 ,  B23Q 16/02 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G05D 3/00 A ,  B23Q 16/02 A ,  G12B 5/00 A ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/14 Z
F-Term (21)：
2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB08 ,  2F078CB13 ,  3C028BB02 ,  3C048BC02 ,  3C048DD12 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC06 ,  5F046CC19 ,  5H303AA01 ,  5H303AA04 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB14 ,  5H303BB18 ,  5H303CC02 ,  5H303DD04 ,  5H303HH07 ,  5H303QQ08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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