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J-GLOBAL ID：200903090340441464
大気圧グロ-放電プラズマ処理法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
田中 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992344250
Publication number (International publication number)：1994182195
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は、大気圧ではグロ-放電が困難なアルゴン、又はアルゴンを主体とする混合ガスに水蒸気を混合してグロ-放電プラズマを発生させ、プラスチックや繊維類に親水性を与えるプラズマ処理法に関する。【構成】相対する電極の少なくとも一方または両方に固体の誘電体を配設したプラズマ発生装置にアルゴン単独ガス、または、アルゴンとヘリウム若しくはアルゴンと水素の混合ガスに、室温または規定された温度で水蒸気又は水蒸気とケトン類との混合物を混合し、大気圧で高周波電圧を印加してグロ-放電を発生させプラズマ励起を行い、電極間に位置せしめたプラスチック類または繊維類等に親水性を付与する大気圧グロ-放電プラズマ処理法である。
Claim (excerpt)：
相対する電極の少なくとも一方の電極の表面に固体誘電体を配設したプラズマ発生装置にアルゴンガスまたはアルゴンガスにヘリウム又は水素を混合した混合ガスに、室温または規定された温度で水蒸気又は水蒸気とケトン類とを添加して得たガスを導入し、大気圧下で高周波電圧を印加してグロ-放電を発生させプラズマ励起を行い、プラズマ発生装置内の電極間に位置せしめたプラスチック類又は繊維類の表面処理を行うことを特徴とする大気圧グロ-放電によるプラズマ表面処理方法。
IPC (4)：
B01J 19/08
, D06M 10/00
, H01J 37/32
, H05H 1/46
