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J-GLOBAL ID：200903090370357875

圧電素子および電子回路の製造方法

Inventor： 倉増 敬三郎 ,  須川 俊夫 ,  高橋 宗子 ,  曽我 真守 ,  生田 茂雄
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994109631
Publication number (International publication number)：1995321584
Application date： May. 24, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は単分子層を形成する化学吸着膜の特性を利用して表面弾性波素子の周波数を目的の値に調整することを目的とする。【構成】 分子量の異なる化学吸着液または積層可能な化学吸着液を用いて表面弾性波素子を浸漬する事で所定の膜厚を高精度に得ることが出来るので、周波数を高精度に調整可能とできる。

Claim (excerpt)：

圧電性を有する基板とこの基板上に設けた電極とを備えた圧電素子を、設定周波数とのずれに応じた長さの分子鎖長の溶質を含む溶液に浸し、その表面の少なくとも一部に前記溶質の誘導体の単分子層よりなる絶縁膜を形成して設定周波数に調整することを特徴とする圧電素子の製造方法。

IPC (2)：

H03H 3/10 ,  H03H 9/145

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-252212
  
• 特開昭63-178615
  
• 化学吸着膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-312206   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平2-036350