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J-GLOBAL ID:200903090519402089
光センサ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
篠部 正治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997225976
Publication number (International publication number):1999068130
Application date: Aug. 22, 1997
Publication date: Mar. 09, 1999
Summary:
【要約】【課題】光センサにおいて、X線や紫外線を含む短波長に感度を高くし、且つ、小型化を図る。【解決手段】導電性アルミニウム基板1上に、Se層2を形成し、そのSe層2上に導電性アルミニウム電極3を形成し、Se層2を導電性アルミニウム基板1と導電性アルミニウム電極3で挟んだサンドイッチ構造の光検出部10を形成し、電源26により電圧を導電性アルミニウム基板1と導電性アルミニウム電極3の間に印加し、Se層2に入射した光(X線など)で発生した電荷を電流検出回路20に流し、抵抗27の両端の電圧が増幅器28で増幅し、流れた電流量の大小により、光(X線など)の強度を測定する。
Claim (excerpt):
第1導電性支持体と、該第1導電性支持体上に形成され、X線および紫外線を含む短波長の光を受光し、受光した光エネルギーを電気エネルギーに変換する感光層と、該感光層上に形成された、X線または紫外線を透過する第2導電性電極を有することを特徴とする光センサ。
IPC (5):
H01L 31/0248
, G01B 11/00
, G01N 21/27
, G01T 1/24
, H01L 27/14
FI (5):
H01L 31/08 K
, G01B 11/00 H
, G01N 21/27 Z
, G01T 1/24
, H01L 27/14 K
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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イメージ検出器
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平8-504853
Applicant:フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
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電磁波センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-138205
Applicant:株式会社堀場製作所
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撮像素子及びその動作方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-185293
Applicant:日本放送協会, 株式会社日立製作所
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