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J-GLOBAL ID：200903090615533194

アライメント顕微鏡

Inventor：
住谷 正人

About 住谷 正人


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998320433
Publication number (International publication number)：2000147795
Application date： Nov. 11, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：
【要約】【課題】 1台の顕微鏡で同時に低倍率と高倍率の画像を得ることができ、アライメントマークを感度よく検出できるアライメント顕微鏡を提供すること。【解決手段】 アライメント光によりマスクアライメントマークMAMを照明する。アライメント光はワークステージWSの反射部材WMで反射しペリクルP、レンズL1を介してハーフミラー12aに入射し光路が分岐される。ハーフミラー12aを透過した光は、低倍率のCCDカメラ11bに入射する。また、ハーフミラー12aにより反射された光は高倍率のCCDカメラ11aに入射する。上記のようにして得た画像からマスクアライメントマークの位置を検出して、制御部2の記憶部21に記憶した後、ワークステージWSにワークを載置してアライメント用照明光源15からアライメント光を照射してワークのアライメントマークの位置を検出し、マスクとワークの位置合わせを行う。
Claim (excerpt)：
マスクアライメントマークにアライメント光を照射し、ワークステージに設けた反射部材にマスクアライメントマークを投影し、該投影像をアライメント顕微鏡によって検出し、その位置を制御部に記憶し、次に、ワークステージ上に載置したワークのアライメントマークに、アライメント顕微鏡からアライメント光を照射して、ワークアライメントマークを上記アライメント顕微鏡によって検出し、制御部に記憶したマスクアライメントマーク像と、検出したワークアライメントマーク像とを重ね合わせることによって、マスクとワークの位置合せを行なう露光装置のアライメント顕微鏡において、結像系の光路を分岐し、一方の光路に粗アライメント用の第1の検出器を設け、もう一方の光路に上記第1の検出器より倍率が大きな精アライメント用の第2の検出器を設けたことを特徴とするアライメント顕微鏡。
IPC (2)：
G03F 9/00 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R
F-Term (15)：
5F046EA04 ,  5F046EA13 ,  5F046EA18 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046EB03 ,  5F046ED02 ,  5F046ED03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA18 ,  5F046FB06 ,  5F046FB07 ,  5F046FB08 ,  5F046FB12 ,  5F046FB18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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