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J-GLOBAL ID：200903090781536517

電子線装置

Inventor： 米澤 彬
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997005731
Publication number (International publication number)：1998199459
Application date： Jan. 16, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウェーハを低加速電圧で高分解能観察すること、特にウェーハの大角度傾斜時 高分解能観察すること。【解決手段】 単極磁界型レンズ4と静電界浸レンズ3から構成される複合レンズであり、静電界浸レンズ3の一方の電極Uの端部は単極頂面付近から試料との間に位置し、もう一方の電極Bは電極Uと試料との間に位置する。電極Bと試料には同電位を印加することが可能であり、試料傾斜しても非点・軸不良が生じない。

Claim (excerpt)：

電子線源と試料の間に単磁極頂面が位置する単極磁界型レンズと、静電界浸レンズからなる複合レンズであり、静電界浸レンズの上部電極Uは単極頂面を形成するヨーク内部に設置され、その一方の端部は単極頂面付近から試料との間に位置し、下部電極Bは電極Uと試料との間に位置する様にした電磁界複合対物レンズを設けたことを特徴とする電子線装置

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 走査形電子顕微鏡及びそれを用いた試料像観察方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-327068   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平1-298633
  
• 走査形電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-159444   Applicant：株式会社日立製作所