縞画像解析誤差検出方法および縞画像解析誤差補正方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川野宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001022633
Publication number (International publication number)：2002162205
Application date： Jan. 31, 2001
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【目的】位相シフト法を用いて得られた縞画像データに対してフーリエ変換を施し、被観察体と基準の両者からの波面のずれに伴って発生するキャリア周波数と複素振幅を求め、該キャリア周波数と該複素振幅に基づき、位相シフトの変位量および傾斜量を検出し、位相シフト法により求められる結果を補正することで、位相シフト素子の傾斜量/変位量の誤差による影響を簡易に排除する。【構成】空間キャリア縞が重畳された、被観察体の形状情報を担持してなる干渉縞画像をCCD撮像カメラにより得る(S1)。次に、得られた干渉縞画像データに対してフーリエ変換を施し(S2)、空間キャリア周波数(fx,fy)を抽出し(S3)、このキャリア周波数に基づきフーリエ変換縞解析を行ない、c(x,y)を求める(S4)。次に、参照面の変位量を求め(S5)、これにより変位量補正がなされた位相シフト量を求め(S6)、さらに縞画像解析を行なう場合に、誤差補正がなされた被観察体の位相を求める(S7)。

Claim (excerpt)：

位相シフト素子を用いて、被観察体と基準とを相対的に位相シフトせしめ、縞画像解析により被観察体の波面を求める方法において、位相シフト前後の前記被観察体の波面情報を担持した2つの縞画像データにフーリエ変換を施し、その変換結果に基づいて演算を行い、前記位相シフトの誤差量を検出することを特徴とする縞画像解析誤差検出方法。

IPC (2)：

G01B 9/02 , G01M 11/02

FI (2)：

G01B 9/02 , G01M 11/02 B

F-Term (8)：

2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG52 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F064JJ15 , 2G086HH06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

耐振動型干渉計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-246308 Applicant：本田捷夫, 岡田勝行, 富士写真光機株式会社
特開平4-264205
物体の姿勢測定装置、姿勢測定方法、姿勢制御装置および物体表面の検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-185585 Applicant：東レ株式会社

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