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J-GLOBAL ID：200903090850744216
モデル作成装置並びにプロセス異常分析装置およびそれらの方法並びにプログラム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007235193
Publication number (International publication number)：2008109101
Application date： Sep. 11, 2007
Publication date： May. 08, 2008
Summary：
【課題】 適切なプロセスステップの区間を設定し、対象品の品質の推測に用いることのできるモデル作成装置を提供すること【解決手段】 モデル作成装置10は、プロセスが実行されている期間中に時系列に取得される、プロセスの状態に関連する情報であるプロセスデータと、そのプロセスで処理された対象品についての検査結果情報とを入力し、プロセス状態情報から抽出されるプロセス特徴量と検査結果情報との関係を表すプロセス-品質モデルを作成する。ステップ対応付け部10aは、個々のプロセスの各プロセスデータごとにプロセスステップの区間を決定し、特徴量抽出部10bは、単位対象品ごと及び決定されたプロセスステップごとにプロセス特徴量を抽出する。解析部10eは、関連する単位対象品が共通していることによって対応付けられたプロセス特徴量と検査結果情報とを用いて、データマイニング等による解析を実行することにより、プロセス-品質モデルを作成する。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
プロセスが実行されている期間中に時系列に取得される、プロセスの状態に関連する情報であるプロセスデータを取得するステップ、
そのプロセスの実行の結果得られた単位対象品の検査結果情報を取得するステップ、
取得した個々のプロセスデータごとに、プロセスステップの区間を決定するステップ、
その決定されたプロセスステップごとにプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するステップ、
関連する単位対象品が共通していることによって対応付けられたプロセス特徴量と検査結果情報とを用いて、データマイニング或いは多変量解析による解析を実行し、プロセス特徴量と検査結果情報との関係を表すプロセス-品質モデルを作成するステップ、
を実行することを特徴とするモデル作成方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/02 Z
, G06F19/00 130
