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J-GLOBAL ID：200903090886044644

反射ミラー及び光ピックアップ

Inventor： 飯田 毅 ,  岡崎 隆一
Applicant, Patent owner： フジノン佐野株式会社
Agent (1)： 影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005328985
Publication number (International publication number)：2007133325
Application date： Nov. 14, 2005
Publication date： May. 31, 2007
Summary：

【課題】膜層数を少なくしつつ、光吸収の問題を解消した反射ミラーを実現する。【解決手段】基板30上に第1の反射多層膜10を形成し、その上であって、光の入射側に第2の反射多層膜20を形成する。第1の反射多層膜10はTiO2とSiO2との交互積層によってなり、第2の反射多層膜20はNb2O5とSiO2との交互積層によってなる誘電体多層膜である。第2の反射多層膜20では波長405nmの光が反射されるが、Nb2O5は波長405nmにおける光吸収が少ないため、波長405nmの光は光吸収されずに第2の反射多層膜20により反射される。そして、波長650nm及び波長780nmの光は、第1の反射多層膜10と第2の反射多層膜20との2つの反射多層膜の協働作用により反射されるため、全体の膜層数を少なくすることができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

異なる2つ以上の波長の入射光をほぼ全反射させる反射ミラーであって、 基板上に前記入射光のうち短波長の入射光において光吸収のある第1の高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層した第1の反射多層膜が形成され、前記第1の反射多層膜上であって、前記第1の反射多層膜よりも入射側に、前記第1の高屈折率膜よりも屈折率が低く、光吸収の少ない第2の高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層した第2の反射多層膜が形成され、 前記短波長の入射光は前記第2の反射多層膜により反射され、前記短波長以外の入射光は前記第1の反射多層膜と前記第2の反射多層膜との2つの反射多層膜との協働作用により反射されることを特徴とする反射ミラー。

IPC (3)：

G02B 5/28 ,  G02B 5/26 ,  G11B 7/135

FI (3)：

G02B5/28 ,  G02B5/26 ,  G11B7/135 A

F-Term (18)：

2H048FA13 ,  2H048FA22 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H048GA33 ,  2H048GA60 ,  2H048GA65 ,  5D789AA38 ,  5D789AA41 ,  5D789BA01 ,  5D789EC45 ,  5D789EC47 ,  5D789FA08 ,  5D789JA12 ,  5D789JA32 ,  5D789JA57

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平3-12605号公報
  

Cited by examiner (2)

• 特開平3-012605
  
• 多層膜反射鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-077619   Applicant：株式会社シバソン