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J-GLOBAL ID：200903090929818061

Cr-Ti系ターゲット

Inventor： 上野 友典 ,  村田 英夫
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997120325
Publication number (International publication number)：1998298742
Application date： Apr. 23, 1997
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 Cr-Ti系ターゲットの抗折力を高め、ターゲットの破断を防止するとともに組織の均一性を確保する。【解決手段】 本発明はTiを5-36at%残部をCrが主体とするターゲットであって抗折力が250N/mm2以上、具体的には組織中に金属Ti相すなわちαTi相もしくはβTi相が分散しているCr-Ti系ターゲットである。より好ましくはCr相、αTi相もしくはβTi相、Cr-Ti化合物相を主相とし、密度は相対密度を99%以上とする。

Claim (excerpt)：

Tiを5〜36at%残部をCrが主体とするターゲットであって、抗折力が250N/mm2以上であることを特徴とするCr-Ti系ターゲット。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C22C 27/06

FI (2)：

C23C 14/34 A ,  C22C 27/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• クロムタ-ゲットおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-099975   Applicant：日立金属株式会社
• 特公平8-003893
  
• 特開昭63-162863