Pat
J-GLOBAL ID：200903090952633273
マルチプローブを用いた変位量測定装置及びそれを用いた変位量測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
三枝 英二
, 掛樋 悠路
, 松本 公雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005230567
Publication number (International publication number)：2007046974
Application date： Aug. 09, 2005
Publication date： Feb. 22, 2007
Summary：
【課題】 微小試験片に張力を加えた際の変位量を高精度に測定することができる変位量測定装置及び変位量測定方法を提供すること。 【解決手段】先端部にチップ(T)が形成された第1及び第2カンチレバー(11、12)を有するマルチプローブ(1)と、第1及び第2カンチレバー(11、12)の形状変化を検出する検出部と、マルチプローブ(1)を走査させるスキャナと、スキャナを制御する制御部と、試験片(2)に張力を加える引張機構とを備えた変位量測定装置であって、複数の凸部(22)が等間隔に表面に形成された試験片(2)に対して引張機構によって張力を加える前後で、制御部がスキャナを制御し、マルチプローブ(1)を用いて、凸部(22)が配列された方向に沿って試験片(2)の表面を所定距離走査し、検出部が、チップ(T)の位置変位による第1及び第2カンチレバー(11、12)の形状変化から試験片(2)の表面の高さ情報を取得する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
所定の間隔で平行に配置され、各々の先端部にチップが形成された第1カンチレバー及び第2カンチレバーを有するマルチプローブと、
各々の前記第1及び第2カンチレバーの形状変化を検出する検出部と、
前記マルチプローブを走査させるスキャナと、
該スキャナを制御する制御部と、
試験片に張力を加える引張機構とを備えた変位量測定装置を用いた変位量測定方法であって、
複数の凸部が等間隔に表面に形成された試験片に張力を加えない状態で、前記制御部が前記スキャナを制御し、前記マルチプローブを用いて、前記凸部が配列された方向に沿って前記表面を所定距離走査し、前記検出部が、前記チップの位置変位による前記第1及び第2カンチレバーの形状変化から、前記表面の高さ情報を取得する第1ステップと、
前記マルチプローブを前記走査を開始する前の位置に復帰させる第2ステップと、
前記試験片に前記引張機構により張力を加えた状態で、前記制御部が前記スキャナを制御し、前記マルチプローブを用いて、前記凸部が配列された方向に沿って前記表面を前記所定距離走査し、前記検出部が、前記チップの位置変位による前記第1及び第2カンチレバーの形状変化から、前記表面の高さ情報を取得する第3ステップと、
前記第1及び第3ステップで、前記第1カンチレバーの形状変化によって得られた高さ情報から、対応する凸部のエッジの変位量を第1の値として算出する第4ステップと、
前記第1及び第3ステップで、前記第2カンチレバーの形状変化によって得られた高さ情報から、対応する凸部のエッジの変位量を第2の値として算出する第5ステップと、
前記第1の値及び前記第2の値の差の絶対値を、試験片の変位量として決定する第6ステップとを含むことを特徴とする変位量測定方法。
IPC (6)：
G01N 3/08
, G01B 21/02
, G01B 21/32
, G01N 13/10
, G01N 13/16
, G01B 21/30
G01N3/08
, G01B21/02 Z
, G01B21/32
, G01N13/10 F
, G01N13/16 A
, G01B21/30
2F069AA31
, 2F069AA60
, 2F069AA68
, 2F069BB40
, 2F069DD25
, 2F069GG04
, 2F069GG39
, 2F069GG52
, 2F069GG63
, 2F069GG73
, 2F069GG74
, 2F069HH02
, 2F069HH30
, 2F069JJ04
, 2F069JJ06
, 2F069LL03
, 2G061AA01
, 2G061AB01
, 2G061EA02
, 2G061EA04
, 2G061EB03
