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J-GLOBAL ID：200903090993387201

積層型圧電アクチュエーターの製造方法

Inventor： 久保田 雅 ,  中西 直己 ,  南 信之
Applicant, Patent owner： 日本セメント株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995144200
Publication number (International publication number)：1996316542
Application date： May. 19, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 繰り返し駆動による破壊を改善する積層型圧電アクチュエーターの製造方法を提供すること。【構成】 複数枚のグリーンシートを積層し、その層間の電気的接続をビアホールで接続する積層型圧電アクチュエーターの製造方法において、該ビアホールが、積層セラミックス内で螺旋状に形成されることとした積層型圧電アクチュエーターの製造方法。

Claim (excerpt)：

複数枚のグリーンシートを積層し、その層間の電気的接続をビアホールで接続して焼結する積層型圧電アクチュエーターの製造方法において、該ビアホールが、積層したグリーンシート内で螺旋状に形成されて接続されることを特徴とする積層型圧電アクチュエーターの製造方法。

IPC (4)：

H01L 41/083 ,  B06B 1/06 ,  H01L 41/22 ,  H04R 31/00

FI (4)：

H01L 41/08 Q ,  B06B 1/06 Z ,  H04R 31/00 Z ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 積層型電歪/圧電素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-261594   Applicant：富士電気化学株式会社