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J-GLOBAL ID:200903091107095684

モノマーの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000060308
Publication number (International publication number):2001247513
Application date: Mar. 06, 2000
Publication date: Sep. 11, 2001
Summary:
【要約】【課題】 アルコールの脱水物の含有量が少ないレジスト用モノマーをエステル交換反応により製造する方法を提供する。【解決手段】 原料エステルと原料アルコールとのエステル交換反応によりレジスト用ポリマーの原料モノマーを製造する方法において、原料エステルおよび原料アルコール中の水分含有率を200ppm以下となるように脱水した後、エステル交換反応を開始することを特徴とするレジスト用ポリマーの原料モノマーの製造方法。
Claim (excerpt):
原料エステルと原料アルコールとのエステル交換反応によりレジスト用ポリマーの原料モノマーを製造する方法において、原料エステルおよび原料アルコール中の水分含有率を200ppm以下となるように脱水した後、エステル交換反応を開始することを特徴とするレジスト用ポリマーの原料モノマーの製造方法。
IPC (9):
C07C 67/03 ,  B01J 31/12 ,  C07C 69/54 ,  C07D307/33 ,  C07D309/30 ,  G03F 7/038 601 ,  C07B 61/00 300 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28
FI (9):
C07C 67/03 ,  B01J 31/12 X ,  C07C 69/54 B ,  C07D309/30 D ,  G03F 7/038 601 ,  C07B 61/00 300 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  C07D307/32 Q
F-Term (29):
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  4C037FA10 ,  4C062BB60 ,  4H006AA02 ,  4H006AB46 ,  4H006AC13 ,  4H006AC48 ,  4H006BA10 ,  4H006BA11 ,  4H006BJ30 ,  4H006KA03 ,  4H006KE20 ,  4H039CA42 ,  4H039CA66 ,  4H039CD10 ,  4H039CD40 ,  4J100AL08P ,  4J100BC07P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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