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J-GLOBAL ID：200903091107976206

金属酸化物蒸着フィルムの製造方法

Inventor： 永井 逸夫 ,  田中 善雄 ,  上田 智昭
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994026948
Publication number (International publication number)：1995233463
Application date： Feb. 24, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【構成】プラスチックフイルムからなる基体の表面を10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、連続して該処理面に反応性蒸着により金属酸化物蒸着膜を設けることを特徴とする金属酸化物蒸着フィルムの製造方法。【効果】酸素バリア性、および水蒸気バリア性の優れた金属酸化物蒸着フィルムを安定して、かつ廉価に製造できる。

Claim (excerpt)：

プラスチックフイルムからなる基体の表面を10W・分/m2以上の処理強度で低温プラズマ処理し、連続して該処理面に反応性蒸着により金属酸化物蒸着膜を設けることを特徴とする金属酸化物蒸着フィルムの製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/02 ,  C23C 14/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-212842
  
• 透明ガスバリア性フィルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-145949   Applicant：東レ株式会社