インクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ及びその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995252926
Publication number (International publication number)：1997094955
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】簡略な構造で印字品位のばらつきが少なく、集積化が可能でかつ生産性の高いインクジェット記録ヘッド用のアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータは、シリコン基板の裏面をエッチングすることにより形成される互いに隔離したマトリクス状のシリコンダイヤフラムと、前記シリコン基板表面の前記シリコンダイヤフラム上に配置される圧電体とを備え、前記各圧電体はシリコン基板と接する面に共通電極を有し、他方の面に信号電極を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

裏面をエッチングすることにより形成される互いに隔離したマトリクス状のシリコンダイヤフラムを有するシリコン基板と、該シリコン基板表面の前記シリコンダイヤフラム上に配置される圧電体とを備え、前記各圧電体はシリコン基板と接する面に共通電極を有し、他方の面に信号電極を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (3)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特表平5-504740
特表平5-504740
特開平3-297653

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