放射線撮像装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：長谷川芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996157218
Publication number (International publication number)：1998012851
Application date： Jun. 18, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】テーパファイバを用いることなく、安価に製造することができ、画像に抜けや歪がなく、S/N比の良い画像が得られる放射線撮像装置を得る。【解決手段】フォトダイオードとスイッチ素子とを1組とした受光要素をマトリックス状に配列して受光部23を形成し、かつ外周辺近傍に電極パッド部44を備えたフォトダイオードアレイチップ11を、マトリックス状に配置する。隣り合うフォトダイオードアレイチップ11間において板面を垂直にして配線板13a、13bを配設する。配線板13aの下部に、受光要素を一つずつ順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタチップ14を設ける。配線板13bの下部に、選択された各受光要素からの信号を処理するチャージアンプアレイチップ15を設ける。

Claim (excerpt)：

フォトダイオードとこれに入力端子を接続したスイッチ素子とを1組とする複数の受光要素をマトリックス状に配列して受光部を形成し、かつ外周辺近傍に前記複数の受光要素の各行の複数の前記スイッチ素子のゲート端子に共通接続した複数のゲート用電極パッドと各列の複数の前記スイッチ素子の出力端子に共通接続した複数の出力用電極パッドとを配列して電極パッド部を形成した複数のフォトダイオードアレイチップを、同一平面上にマトリックス状に配置した受光ユニットと、前記フォトダイオードアレイチップ上に設けたシンチレータ板と、隣り合う前記フォトダイオードアレイチップ間において板面を前記受光ユニットと垂直にして配設するとともに、前記板面には前記複数のゲート用電極パッドに対応するゲート用配線または前記複数の出力用電極パッドに対応する出力用配線を施した配線板と、前記配線板に設けられ、前記受光要素を一つずつ順次選択する信号を出力するための信号出力パッドを有する垂直シフトレジスタチップと、前記配線板に設けられ、前記選択された各受光要素からの信号を入力するための信号入力パッドを有するとともに、この入力信号を処理するチャージアンプアレイチップとを備え、前記ゲート用配線を前記ゲート用電極パッドと前記信号出力パッドに電気的に接続し、前記出力用配線を前記出力用電極パッドと前記信号入力パッドに電気的に接続したことを特徴とする放射線撮像装置。

IPC (5)：

H01L 27/14 , G01T 1/20 , H01L 31/09 , H04N 5/32 , H04N 5/335

FI (5)：

H01L 27/14 K , G01T 1/20 E , H04N 5/32 , H04N 5/335 U , H01L 31/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

固体撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-141756 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
特開昭60-060773
特開平3-150487

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