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J-GLOBAL ID：200903091277110629

測長用電子顕微鏡

Inventor： 吉村 俊之 ,  大高 正 ,  寺澤 恒男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995326819
Publication number (International publication number)：1997166428
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】電子線を用いた測長装置で、帯電や電子線照射で試料表面に付着するコンタミネーションに起因するパターン測長寸法の変動を補正して、正確なパターン測長を実現する。【解決手段】(1)測長値の時間変化を追跡する機能と(2)時間変化のデータから近似式を求め、時間外挿して照射時間0における値を求める機能とを有し、電子線照射時間0の時点に対応する寸法を、電子線照射前のパターン寸法として求める。

Claim (excerpt)：

少なくとも観察試料に集束した電子線を照射するためのレンズ,前記電子線を観察試料上で走査する偏向手段,前記電子線照射に伴い前記観察試料表面部分から発生する二次電子等の信号を捕獲する検出系,前記信号から前記観察試料の所望のパターン寸法を算出する信号処理系からなる測長用電子顕微鏡において、前記電子線の照射に伴う前記パターン寸法の時間変化を記録する手段を備え、前記パターン寸法の時間変化のデータに基づき、所定の時刻における前記パターン寸法を算出する手段を備えたことを特徴とする測長用電子顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 15/00 ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/00

FI (3)：

G01B 15/00 B ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 電子線測長方法及び電子線測長装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-211301   Applicant：三菱電機株式会社