液体材料塗布方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梶山佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998108686
Publication number (International publication number)：1999285666
Application date： Apr. 03, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】基板表面へ液体材料を均一に塗布することができる液体材料塗布方法を提供する。【解決手段】液体材料を噴霧化し、基板に印加した静電気により液体材料の粒子を前記基板表面に静電吸着し、液体材料を基板表面に均一に塗布する。イオナイザーで霧化液体材料を、基板の静電チャックと逆の極性に帯電させることが好ましい。

Claim (excerpt)：

液体材料を噴霧化し、基板に印加した静電気により液体材料の粒子を前記基板表面に静電吸着し、液体材料を基板表面に均一に塗布することを特徴とする液体材料塗布方法。

IPC (2)：

B05D 1/04 , B05D 7/00

FI (2)：

B05D 1/04 G , B05D 7/00 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (18)

特開昭59-055368
特公昭36-007531
特開平3-215931

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