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J-GLOBAL ID：200903091578802607
硬化膜およびその製造法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997277128
Publication number (International publication number)：1999114485
Application date： Oct. 09, 1997
Publication date： Apr. 27, 1999
Summary：
【要約】【課題】 低誘電率で平坦度、耐熱性、耐溶剤性、透明性、絶縁性、プロセス許容性などに優れた硬化膜およびそれを製造する方法を提供すること【解決手段】 アルカリ可溶性、熱硬化性樹脂のパターン化された硬化膜および(1)基板上にアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂組成物を塗布しそして50〜200°Cの温度でプレベークし、(2)その上に、感放射線性樹脂組成物を塗布しそして50〜200°Cの温度でベークし、(3)所定のマスクを介して放射線を照射しそして室温ないし200°Cの温度でベークし、(4)アルカリ性現像液で現像し、(5)工程(1)〜(3)で採用した温度よりも高い温度でベークしてアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂の架橋による硬化を促進させ、(6)現像液に残った未露光部の全面に露光し、(7)アルカリ性現像液に浸漬しそして(8)100〜300°Cの温度に加熱してアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂をパターン化する、ことを特徴とする硬化膜の製造法または上記工程(5)と工程(6)の前後を逆にした製造法。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性の熱硬化性樹脂のパターン化された硬化膜。
IPC (6)：
B05D 3/06
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/11 502
, G03F 7/26 511
B05D 3/06
, H01L 21/312 D
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/11 502
, G03F 7/26 511
, H01L 21/30 566
, H01L 21/30 571
