セラミックス部品およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996339103
Publication number (International publication number)：1998167859
Application date： Dec. 05, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】腐食性ガスに対して暴露されるセラミックスの部品を製造するのに際して、腐食性ガスへの暴露時のパーティクルの発生を抑制する。【解決手段】セラミックスの表面に対して少なくとも研削加工を施すことによって所定形状の加工品を得、この加工品を熱処理することによって、セラミックス部品を得る。好ましくは、加工品の加工面に、セラミックス内の粒子の加工面が露出しており、加工品を熱処理に供することによって、各粒子の各加工面のエッジを鈍化させる。また、セラミックスの焼結体の焼結温度をT0 としたとき、熱処理の温度をT0 以下、T0 -300°C以上とする。

Claim (excerpt)：

腐食性ガスに対して暴露されるセラミックス部品であって、このセラミックス部品がセラミックスの加工品からなっており、前記セラミックス部品の加工面に露出する粒子に加工面が形成されており、前記各粒子の加工面のエッジが前記粒子内の物質移動によって鈍化していることを特徴とする、セラミックス部品。

IPC (4)：

C04B 41/80 , H01L 21/68 , C23F 15/00 , H01L 21/3065

FI (4)：

C04B 41/80 A , H01L 21/68 N , C23F 15/00 , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

アルミナセラミックス焼結体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-192648 Applicant：東洋鋼鈑株式会社
半導体製造装置用セラミックス部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-168379 Applicant：住友金属工業株式会社

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