Pat
J-GLOBAL ID:200903092294829617
グラフェンシートの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高島 敏郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007261188
Publication number (International publication number):2009091174
Application date: Oct. 04, 2007
Publication date: Apr. 30, 2009
Summary:
【課題】 幅や長さ、膜厚の調整が容易で、かつ、大面積のグラフェンシートを簡単に製造できる方法を提供する。【解決手段】 触媒金属層を形成した基板上に炭素含有ガスを供給してグラフェンシートを形成するグラフェンシートの製造方法であって、所定の性質を有する基板を準備する工程と、この基板の少なくとも一面に、少なくとも一つのライン状の触媒金属層を位置決めして形成する工程と、前記触媒金属層を形成した前記基板を容器内に収容するとともに、所定環境下で前記基板を加熱する工程と、前記基板の少なくとも前記触媒金属層を形成した面に、炭素含有ガスを供給する工程とを有し、前記触媒金属層の基板からの高さを、形成しようとするグラフェンシートの膜厚及び層数に応じた高さとした。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
触媒金属層を形成した基板上に炭素含有ガスを供給してグラフェンシートを形成するグラフェンシートの製造方法であって、
所定の性質を有する基板を準備する工程と、
この基板の少なくとも一面に、少なくとも一つのライン状の触媒金属層を位置決めして形成する工程と、
前記触媒金属層を形成した前記基板を容器内に収容するとともに、所定環境下で前記基板を加熱する工程と、
前記基板の少なくとも前記触媒金属層を形成した面に、炭素含有ガスを供給する工程とを有し、
前記触媒金属層の基板からの高さを、形成しようとするグラフェンシートの膜厚及び層数に応じた高さとしたこと、
を特徴とするグラフェンシートの製造方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (22):
4G146AA02
, 4G146AB07
, 4G146AD24
, 4G146AD29
, 4G146BA08
, 4G146BA09
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC33B
, 4G146BC34B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146BC48
, 4G146DA03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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高配向グラファイト及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-134346
Applicant:株式会社カネカ
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高配向グラファイト層状シ-ト物及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-075546
Applicant:宇部興産株式会社
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