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J-GLOBAL ID：200903092513188819

イオン源

Inventor： 内藤 勝男
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993306816
Publication number (International publication number)：1995161323
Application date： Dec. 07, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【構成】 第1放電室7におけるアーク放電により生成されたプラズマの電子を、第2放電室8での電離に利用する。このとき、第1放電室7で得られたプラズマ電子は、磁極5・5による磁界とアノード12による電界との作用を受けて旋回しながら中間電極6とリペラー電極16との間を往復飛行して閉じ込められる。これにより、電離効率が高まり、イオンの収率が向上して多価イオンもより多く得られる。また、磁極5・5を真空チャンバ1内に貫通させて磁極5・5の間隔を短くすることにより、磁極5・5を含む磁場発生器を大型化することなく強磁場を発生させる。強磁場の環境が与えられることで、高アーク放電を維持して多価イオンの発生を促す。【効果】 コンパクトでかつ多価イオンの収率を高めたイオン源を提供することができる。

Claim (excerpt)：

気体放電を生じさせてプラズマを生成する第1放電室および第2放電室と、上記第1放電室内に設けられて電子を放出する陰極と、上記第1放電室と上記第2放電室との間に設けられ、上記両放電室を連通させる開口部を有するとともに、上記陰極より高電位に保たれる中間電極と、上記第2放電室に設けられて上記陰極および中間電極より高電位に保たれる陽極と、上記第2放電室において上記陰極および中間電極の開口部と対向して設けられ、上記中間電極と同電位に保たれる反射電極と、上記両放電室を収容して内部が真空に保たれる真空容器と、上記真空容器を貫通するとともに上記両放電室に対し上記陰極および反射電極を通過する方向に沿って磁場を与える1対の磁極とを備えていることを特徴とするイオン源。

IPC (2)：

H01J 37/08 ,  H01J 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• イオン注入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-089756   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭63-250038
  
• 特開昭64-052366
  
• 特開昭62-278736