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J-GLOBAL ID：200903092514750596

チタン金属とチタン酸ジルコン酸鉛膜を含む複合体の製造方法及び複合体

Inventor： 梶芳 浩二 ,  浜地 幸生 ,  伴野 国三郎 ,  吉村 昌弘
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所 ,  新技術事業団 ,  吉村 昌弘
Agent (1)： 西澤 均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993022146
Publication number (International publication number)：1994211523
Application date： Jan. 13, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低温で、後処理工程を必要とすることなく、Ti金属上にPb(Zr,Ti)O3膜を容易かつ確実に形成する。【構成】 Ti基板または、Ti金属膜をその表面に形成した基板を、0.1mol/l 以上の鉛(Pb)化学種と0.05mol/l 以上のジルコニウム(Zr)化学種とを含有するpHが14以上のアルカリ性水溶液中に浸漬し、200°C以上の温度で水熱処理を施すことにより、前記Ti基板上、または、前記基板の表面に形成されたTi金属膜上にチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)膜を形成する。

Claim (excerpt)：

チタン(Ti)金属からなるTi基板を、0.1mol/l 以上の鉛(Pb)化学種と0.05mol/l 以上のジルコニウム(Zr)化学種とを含有するpHが14以上のアルカリ性の処理水溶液中に浸漬し、200°C以上の温度で水熱処理を施すことにより、前記Ti基板上にチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)膜を形成することを特徴とするTi金属とPb(Zr,Ti)O3膜を含む複合体の製造方法。

IPC (3)：

C01G 25/00 ,  C23C 22/64 ,  H01B 3/12 338

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ジルコン酸鉛膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-334104   Applicant：株式会社村田製作所