半導体装置およびその作製方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999355205
Publication number (International publication number)：2001175198
Application date： Dec. 14, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】カラーフィルタを対向基板に設けた液晶表示パネルでは素子基板と対向基板とを極めて高い精度で位置合わせして組み立てることが必要であり、この精度が低い場合には開口率が低下して表示が暗くなるという問題があった。【解決手段】本発明は、周辺回路である駆動回路402、403上に赤のカラーフィルタ(R)404a、404bを設け、画素TFT部407を保護する赤色のカラーフィルタ405dを各画素毎に形成する。

Claim (excerpt)：

画素部に設けた画素TFTと、該画素部の周辺にpチャネル型TFTとnチャネル型TFTとを設けた駆動回路とを同一の基板上に有する半導体装置において、前記駆動回路のpチャネル型TFT、前記駆動回路のnチャネル型TFT、及び前記画素部の画素TFTは、ゲート絶縁膜上に接して形成されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に接して有機絶縁物材料からなる層間絶縁膜とを有していることを特徴とする半導体装置。

IPC (7)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 , G09F 9/30 349 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1368 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (7)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 A , G09F 9/30 349 B , G02F 1/1335 505 , G02F 1/136 500 , H01L 21/90 S , H01L 29/78 612 B

F-Term (124)：

2H091FA02Y , 2H091FA44Y , 2H091GA03 , 2H091GA07 , 2H091GA13 , 2H092HA28 , 2H092JA24 , 2H092JA34 , 2H092JB57 , 2H092KB25 , 2H092KB26 , 5C094AA25 , 5C094AA43 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA07 , 5C094EA10 , 5C094EB02 , 5C094ED03 , 5C094FA01 , 5C094GB10 , 5F033GG04 , 5F033HH08 , 5F033HH10 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH21 , 5F033HH27 , 5F033HH28 , 5F033HH29 , 5F033HH30 , 5F033HH32 , 5F033HH33 , 5F033HH34 , 5F033JJ08 , 5F033JJ18 , 5F033KK04 , 5F033MM05 , 5F033MM08 , 5F033MM19 , 5F033NN32 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR08 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033SS22 , 5F033TT04 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW00 , 5F033XX10 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE06 , 5F110EE11 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE37 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG25 , 5F110GG34 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG51 , 5F110GG52 , 5F110GG58 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HL12 , 5F110HL14 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110NN01 , 5F110NN03 , 5F110NN16 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN40 , 5F110NN72 , 5F110PP01 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP34 , 5F110QQ24 , 5F110QQ25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

カラー表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-314146 Applicant：ソニー株式会社
特開昭60-191289
特開昭64-040889

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