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J-GLOBAL ID:200903092834865863
製版方法及び製版装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡部 温
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999344629
Publication number (International publication number):2001166467
Application date: Dec. 03, 1999
Publication date: Jun. 22, 2001
Summary:
【要約】【課題】 レーザーフレアの影響を受けにくく鮮鋭な画像記録が可能で、明室処理にも適用できる製版方法等を提供する。【解決手段】 Ti:Al2O3レーザー光源25(図3)から射出された超短パルスレーザー光をAOM27(音響光学変調素子)で変調する。変調後のレーザー光の焦点を集光レンズ29により感光性製版材料1の高感度フォトポリマー層5(図2)に合わせる。集光した超短パルスレーザー光が、フォトポリマー層5のレーザー光照射部に2光子吸収現象による光重合反応を生じさせて、硬化部11を形成する。
Claim (excerpt):
感光性製版材料を準備する工程と、該感光性製版材料を、変調を加えたレーザー光で走査して画像を記録する工程と、該画像を現像する工程と、を含む製版方法であって;上記レーザー光として超短パルスレーザーを用い、上記感光性製版材料のレーザー光照射部において2光子吸収現象による光重合反応を生じさせることを特徴とする製版方法。
IPC (3):
G03F 7/027 501
, B41C 1/055 501
, G03F 7/20 505
FI (3):
G03F 7/027 501
, B41C 1/055 501
, G03F 7/20 505
F-Term (20):
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AB03
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC31
, 2H025CA00
, 2H025FA10
, 2H025FA17
, 2H084AA30
, 2H084AE05
, 2H084CC05
, 2H097AA03
, 2H097AA16
, 2H097AB08
, 2H097BB02
, 2H097CA17
, 2H097FA02
, 2H097LA03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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パターン形成方法及び露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-122484
Applicant:株式会社日立製作所
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露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-175921
Applicant:株式会社ニコン
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画像形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-028413
Applicant:三菱化学株式会社
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