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J-GLOBAL ID：200903093032448970

窒化ガリウム系化合物半導体の電極形成方法

Inventor： 小池 正好 ,  永井 誠二 ,  山崎 史郎 ,  村上 正紀 ,  津久井 克幸 ,  石川 英憲
Applicant, Patent owner： 豊田合成株式会社 ,  新技術事業団
Agent (1)： 藤谷 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995094484
Publication number (International publication number)：1996264478
Application date： Mar. 27, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 窒化ガリウム系化合物半導体における電極の接触抵抗の低下【構成】 少なくともガリウム及び窒素を含む化合物半導体の表面をターゲットとして、不活性ガスを用いて逆スパッタリングすることで、半導体表面の酸化物や付着物を完全に除去する。逆スパッタリングの程度を半導体表面に原子配列が破壊された破壊層が形成される程度とし、金属蒸着工程と続く合金処理工程を真空状態を保持してスパッタリング工程に連続して実行することで、金属と半導体との接触抵抗が低下した。BHFによりウエットエッチングした表面に電極を形成した場合に比べて、接触抵抗は1/10に低下した。

Claim (excerpt)：

少なくともガリウム及び窒素を含む化合物半導体の表面を不活性ガスを用いてスパッタリングした後に、金属を蒸着して電極を形成することを特徴とする電極形成方法。

IPC (2)：

H01L 21/28 ,  H01L 33/00

FI (2)：

H01L 21/28 A ,  H01L 33/00 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (24)

• 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びその電極形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-124890   Applicant：日亜化学工業株式会社
• 特開昭59-130425
  
• 特開平3-108779
  
• 特開昭55-083229
  
• 特開昭59-130425
  
• 特開平2-058326
  
• 特開昭59-072130
  
• 特開平3-108779
  
• 特開平2-058326
  
• 特開昭59-072130
  
• 特開昭55-083229
  
• 特開昭59-130425
  
• 特開平3-108779
  
• 特開平2-058326
  
• 特開昭59-072130
  
• 特開昭55-083229
  
• 特開昭59-130425
  
• 特開平3-108779
  
• 特開平2-058326
  
• 特開昭59-072130
  
• 特開昭59-130425
  
• 特開平3-108779
  
• 特開平2-058326
  
• 特開昭59-072130