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J-GLOBAL ID：200903093085545110

ガス中の微量不純物の分析方法及び装置

Inventor： 西名 明 ,  田中 誠
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 木戸 一彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998249434
Publication number (International publication number)：2000074882
Application date： Sep. 03, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ガスクロマトグラフで主成分ガスと十分に分離できない不純物成分も、大気圧イオン化質量分析計によって高感度,高精度で分析できるガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。【解決手段】 主成分ガスと微量不純物とを分離するガスクロマトグラフ10からの流出ガスに精製ガス(希釈ガス)を添加して大気圧イオン化質量分析計20に導入することにより微量不純物を分析する方法において、前記流出ガスの種類に応じて前記精製ガスの添加量を調節する。

Claim (excerpt)：

試料ガス中の主成分ガスと微量不純物とを分離するガスクロマトグラフからの流出ガスに精製ガスを添加して大気圧イオン化質量分析計に導入することにより試料ガス中の微量不純物を分析する方法において、前記流出ガスの種類に応じて前記精製ガスの添加量を調節することを特徴とするガス中の微量不純物の分析方法。

IPC (3)：

G01N 27/62 ,  G01N 30/72 ,  H01J 49/04

FI (3)：

G01N 27/62 C ,  G01N 30/72 F ,  H01J 49/04

F-Term (6)：

5C038EE01 ,  5C038EF01 ,  5C038EF12 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 微量不純物の分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-185518   Applicant：日本パイオニクス株式会社