Pat

J-GLOBAL ID：200903093377978122

フォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法

Inventor： 水野上 美徳
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996036359
Publication number (International publication number)：1997230580
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 すぐれた表面剥離性を有し、フォトマスク表面から糊残りせずに剥離でき、生産性のよいフォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 ポリエステルフィルムからなる基材の片面に剥離処理層が設けられ、基材の他の面に粘着剤層及び剥離紙がこの順に積層されてなるフォトマスク保護用粘着フィルムを製造するに際し、基材の一面に粘着剤層及び剥離紙を積層し、その後、基材の裏面に離型剤を塗布する。

Claim (excerpt)：

ポリエステルフィルムからなる基材の片面に剥離処理層が設けられ、基材の他の面に粘着剤層及び剥離紙がこの順に積層されてなるフォトマスク保護用粘着フィルムを製造するに際し、基材の一面に粘着剤層及び剥離紙を積層し、その後、基材の裏面に離型剤を塗布することを特徴とするフォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法。

IPC (3)：

G03F 1/14 ,  C09J 7/02 JKQ ,  C09J 7/02 JKZ

FI (3)：

G03F 1/14 E ,  C09J 7/02 JKQ ,  C09J 7/02 JKZ

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• フォトマスク保護用積層粘着フイルム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-256833   Applicant：積水化学工業株式会社