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J-GLOBAL ID：200903093436166030
複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小山 有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002077993
Publication number (International publication number)：2003183847
Application date： Mar. 20, 2002
Publication date： Jul. 03, 2003
Summary：
【要約】【課題】 微粒子を含むエアロゾルを高速で基板に吹き付けてダイレクトに複合構造物を形成させる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることができる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置を提供する。【解決手段】 上記複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、ノズルを加熱する手段を配設し、ノズル内壁を加熱することにより、微粒子を十分に加速させることで基板への構造物の形成速度を向上させることができた。また、ノズル内壁への微粒子や凝集粒の付着を大幅に低減させることができた。その結果、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることが可能となった。
Claim (excerpt)：
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズル先端から噴射して基板に吹き付けて微粒子の材料からなる構造物を基板上に形成させることによって基板と構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物作製方法において、少なくとも前記エアロゾルを前記基板に吹き付けるときには、前記ノズル先端の温度が50°C〜150°Cになるように加熱手段によって制御することを特徴とする複合構造物作製方法。
F-Term (9)：
4K044AA06
, 4K044BA01
, 4K044BA11
, 4K044BA12
, 4K044BA13
, 4K044BB01
, 4K044BB03
, 4K044CA23
, 4K044CA24
