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J-GLOBAL ID:200903093500416720
機能性素子の製造方法およびその製造装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山下 昭彦 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002069671
Publication number (International publication number):2003266003
Application date: Mar. 14, 2002
Publication date: Sep. 24, 2003
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、形成された機能層の中心部および端部の厚みの差が、色調ムラ等の不都合を発生させない程度の差の範囲内にある機能層を有する機能性素子の製造方法およびそのような機能性素子の製造に用いる装置を提供することを主目的とするものである。【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、溶媒を含む機能層形成用塗工液を基材上に塗布した後、乾燥させて固化させる乾燥工程を有する機能性素子の製造方法において、製造される機能層の平坦性を得るために、予め製造された機能層の形状を検査し、中心部が凸形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を速くし、中心部が凹形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を遅くするように制御することを特徴とする機能性素子の製造方法を提供する。
Claim (excerpt):
溶媒を含む機能層形成用塗工液を基材上に塗布した後、乾燥させて固化させる乾燥工程を有する機能性素子の製造方法において、製造される機能層の平坦性を得るために、予め製造された機能層の形状を検査し、中心部が凸形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を速くし、中心部が凹形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を遅くするように制御することを特徴とする機能性素子の製造方法。
IPC (6):
B05C 9/14
, F26B 25/00
, G02B 5/20 101
, H05B 33/10
, H05B 33/12
, H05B 33/14
FI (6):
B05C 9/14
, F26B 25/00 A
, G02B 5/20 101
, H05B 33/10
, H05B 33/12 E
, H05B 33/14 A
F-Term (31):
2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB28
, 2H048BB42
, 3K007AB04
, 3K007AB18
, 3K007BB06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3L113AA01
, 3L113AB01
, 3L113AC08
, 3L113AC10
, 3L113AC69
, 3L113BA34
, 3L113CA01
, 3L113CB05
, 3L113CB06
, 3L113CB23
, 3L113DA24
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA18
, 4F042BA25
, 4F042CB10
, 4F042DB01
, 4F042DB19
, 4F042DB26
, 4F042DD34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
カラーフィルタの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-235612
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
塗布膜形成方法および塗布処理システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-024981
Applicant:東京エレクトロン株式会社
-
薄膜形成方法およびこの薄膜形成方法を用いた有機EL表示装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-115031
Applicant:株式会社オートネットワーク技術研究所, 住友電装株式会社, 住友電気工業株式会社
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