酸素分圧制御による試料作成方法および試料作成装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：江原省吾 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001132689
Publication number (International publication number)：2002326887
Application date： Apr. 27, 2001
Publication date： Nov. 12, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】極めて低い酸素分圧に制御された雰囲気で機能性酸化物等の単結晶試料を作成する方法および装置を提供する。【解決手段】ガスボンベ等から供給された不活性ガスを酸素分圧制御装置1に送り、電気化学的な酸素ポンプ4で不活性ガス中の酸素分圧を2×10-1〜1×10-30気圧に制御し、この酸素分圧が制御された不活性ガスをフローティングゾーン式単結晶育成装置等よりなる試料作成室11に送り、この試料作成室11内でSr2MoO4等の機能性酸化物,超高純度金属,金属間化合物,1種以上の金属と他の元素との化合物等を作成する。

Claim (excerpt)：

不活性ガス中の酸素分圧を2×10-1〜1×10-30気圧に制御した雰囲気中で原料を加熱して試料を作成することを特徴とする酸素分圧制御による試料作成方法。

F-Term (8)：

4G077AA02 , 4G077BC51 , 4G077BC60 , 4G077CE03 , 4G077EA05 , 4G077HA03 , 4G077HA08 , 4G077NF11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

超伝導セラミツクス及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-261071 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
特公平2-014315
単結晶引上装置における不活性ガス回収装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-181674 Applicant：信越半導体株式会社

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Cited by examiner (10)

超伝導セラミツクス及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-261071 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
特公平2-014315
特開昭61-101495

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