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J-GLOBAL ID：200903093612797793

固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法及びカラー固体撮像素子の製造方法

Inventor：
狭山 征博

About 狭山 征博


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998232717
Publication number (International publication number)：2000066016
Application date： Aug. 19, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：
【要約】【課題】 顔料含有型レジストのみ或いは染料含有型レジストのみを用いた場合に存する、色素を成す粒子の粒径を小さくしにくい、感光液溶媒に混ぜたときにゲルが生じるという問題或いは耐光性、耐熱性が低いという問題の軽減を図る。【解決手段】 一部の色、例えばマゼンタMgのカラーフィルタを感光性着色顔料レジスト8mにより、他の色、例えばシアンCy、イエローYeのカラーフィルタを感光性着色染料レジスト9c、9yにより形成する。そして、感光性着色顔料レジスト8mによるカラーフィルタの形成よりも感光性着色染料レジスト9c、9yによるカラーフィルタの形成を後にする。
Claim (excerpt)：
複数色のカラーフィルタのうちの一部の色のカラーフィルタを感光性着色顔料レジストにより、他の色のカラーフィルタを感光性着色染料レジストにより形成することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法。
IPC (4)：
G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  H01L 27/14 ,  H04N 9/07
FI (4)：
G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  H04N 9/07 D ,  H01L 27/14 D
F-Term (31)：
2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB13 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025CC12 ,  2H025CC13 ,  2H025DA09 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BB02 ,  2H048BB46 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C065BB42 ,  5C065EE06 ,  5C065EE07 ,  5C065EE20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 固体撮像素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-301420   Applicant：ソニー株式会社
  • カラーフィルタの製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-215081   Applicant：ソニー株式会社

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