Pat

J-GLOBAL ID：200903093686224477

走査型プローブによる信号検出装置、および原子間力顕微鏡

Inventor： 井辻 健明 ,  紫藤 俊一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999118311
Publication number (International publication number)：2000304756
Application date： Apr. 26, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】プローブを構成するピエゾ抵抗素子の抵抗変化量として得られた出力電圧信号に含まれるオフセット信号を、高感度に信号検出し、ピエゾ抵抗のばらつきによる影響をなくしマルチ化にも適した走査型プローブによる信号検出装置、及び該装置による原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】試料表面に対向配置のプローブを、試料表面に近接二次元走査させ、試料表面とプローブの先端に働く物理量を、プローブのたわみ量として検出し、該たわみ量をプローブを構成するピエゾ抵抗素子のピエゾ抵抗値の変化として検出する走査型プローブによる信号検出装置であり、前記プローブに定電圧バイアスを印加して抵抗変化量として得た入力電流信号を、出力電圧信号に変換する信号検出系と、該信号検出手段の出力電圧信号に含まれるオフセット信号成分を検出除去するオフセット信号検出系とを有する。

Claim (excerpt)：

試料表面に対向して配置されるプローブを、前記試料表面に近接させ二次元走査させ、前記試料表面と前記プローブの先端に働く物理量を、前記プローブのたわみ量として検出し、該たわみ量を前記プローブを構成するピエゾ抵抗素子のピエゾ抵抗値の変化として検出する走査型プローブによる信号検出装置であって、前記プローブに定電圧バイアスを印加して抵抗変化量として得られた入力電流信号を、出力電圧信号に変換する信号検出系と、該信号検出手段の出力電圧信号に含まれるオフセット信号成分を検出して除去するオフセット信号検出系と、を有することを特徴とする走査型プローブによる信号検出装置。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00

FI (4)：

G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 9/00

F-Term (24)：

2F063AA43 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063FA07 ,  2F063FA10 ,  2F063GA57 ,  2F063LA11 ,  2F069AA60 ,  2F069DD19 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ25 ,  2F069MM04 ,  2F069QQ07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 走査型原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-115356   Applicant：キヤノン株式会社
• 歪み検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-066596   Applicant：オリンパス光学工業株式会社