フォトマスク等基板の収納ケース

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉山泰三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996315458
Publication number (International publication number)：1998142773
Application date： Nov. 12, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】運搬中や保管時に損傷したり汚染しないように保護することができ、しかも成形や洗浄が容易なフォトマスク等基板収納用ケースを提供する。【解決手段】ケース本体1の内底面にフォトマスク等基板10,11の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同基板10,11を載置可能とする支持突起4,5と、同基板10,11の外郭位置にその内面を基板10,11の周縁に接触させて同基板10,11の横方向の移動を阻止する囲み片6,7とを一体的に設けるとともに、蓋体2の内天面においてケース本体1の支持突起4,5と対向する位置にそれぞれ上記基板10,11の上面にその下端部を直に接触させて支持突起4,5と共に基板10,11を挟んで上下方向の揺れを阻止する押え突起8,9を一体的に設け、そのケース本体1と蓋体2をフォトマスク等基板10,11よりも硬度の小さいプラスチックにより成形した。

Claim (excerpt)：

ケース本体1と、ケース本体1に対し着脱自在な蓋体2と、ケース本体1に蓋体2を被せた状態でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンド3とを具え、そのケース本体1の内底面にフォトマスク等基板10,11の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同基板10,11を載置可能とする支持突起4,5と、同基板10,11の外郭位置にその内面を基板10,11の周縁に接触させて同基板10,11の横方向の移動を阻止する囲み片6,7とを一体的に設けるとともに、蓋体2の内天面においてケース本体1の支持突起4,5と対向する位置にそれぞれ上記基板10,11の上面にその下端部を直に接触させて支持突起4,5と共に基板10,11を挟んで上下方向の揺れを阻止する押え突起8,9を一体的に設け、そのケース本体1と蓋体2をフォトマスク等基板10,11よりも硬度の小さいプラスチックにより成形したことを特徴とするフォトマスク等基板の収納ケース。

IPC (3)：

G03F 1/14 , B65D 85/86 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 1/14 M , B65D 85/38 R , H01L 21/30 503 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

基板保持用ケース
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-229382 Applicant：大日本印刷株式会社
マスク保護装置の収納ケース
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-202407 Applicant：三井石油化学工業株式会社

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