ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001187775
Publication number (International publication number)：2003005369
Application date： Jun. 21, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性ポリイミド前駆体またはポリイミドと、(b)25°Cにおける塩基解離定数(PKb)が7以上である塩基性含窒素化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ水溶液可溶性ポリイミド前駆体またはポリイミドと、(b)25°Cにおける塩基解離定数(PKb)が7以上である塩基性含窒素化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。

IPC (5)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 601 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 601 , H01L 21/30 502 R

F-Term (68)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB42 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J043PA01 , 4J043PA19 , 4J043PB13 , 4J043PB14 , 4J043PB17 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043PC145 , 4J043PC146 , 4J043QB21 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA05 , 4J043RA34 , 4J043SA06 , 4J043SA43 , 4J043SA54 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA14 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TA47 , 4J043TA53 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA111 , 4J043UA112 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA152 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA361 , 4J043UA362 , 4J043UA381 , 4J043UA622 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB022 , 4J043UB121 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043ZA51 , 4J043ZB22 , 4J043ZB47

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-211506 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポリアミド酸組成物および液晶素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-018554 Applicant：株式会社東芝
耐熱性ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-177985 Applicant：日東電工株式会社

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