走査型プローブ顕微鏡装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外7名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996505983
Publication number (International publication number)：1998506457
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】原子間力測定(AFM)モード(137)、走査型トンネル測定(STM)モード(138)、近視野分光測光モード(143)、近視野光学モード(151)および硬度試験モードを有する、対象(104)を検査するための走査型プローブ顕微鏡装置(100)が開示される。

Claim (excerpt)：

対象を検査するための走査型プローブ顕微鏡装置であって: 鋭い先端を備えたチップを有するプローブと; 前記チップと前記対象との非光学的相互作用を誘導および検出するための手段と; 前記チップに光を与えるために、前記チップに光学的に結合された光源と; 前記チップは、前記放出された光が前記対象と光学的に相互作用するように、前記与えられた光を前記鋭い先端で放出する形状であることと; 前記放出された光が前記対象と光学的相互作用して生じた光を検出するための光検出器とを具備した装置。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

FI (4)：

G01N 37/00 B , G01B 21/30 Z , G01N 37/00 D , G01N 37/00 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

音響顕微鏡装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-162917 Applicant：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ, バブールビーハディミオグル
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-032424 Applicant：富士通株式会社
特開平1-235878

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