圧電素子及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤進
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997277584
Publication number (International publication number)：1999113906
Application date： Oct. 09, 1997
Publication date： Apr. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】圧電素子の凹状曲面と側面とで形成されるエッジ先端から底面までの高さ寸法の精度が高い圧電素子を提供すること。【解決手段】圧電素子1は、平板状部材の圧電セラミックの高さ寸法h,幅寸法w及び長さ寸法lを角出しして予め所定寸法に加工したものであり、この直方体に加工された圧電素子1に凹状曲面2を形成する。このとき、まず砥石に凹状曲面の曲率半径(R)に対応するアール付けをし、この圧電素子1の対向する二平面3a,3bの少なくとも一方の平面側を研削していく。すると、第1平面3aに交わるように略円筒面形状の凹状曲面2が形成されると共に、平面部4a,4bが残存する。このことによって、圧電素子1の高さ寸法hが高精度に維持され、従来の圧電素子で形成されていた凹状曲面と側面とで形成されたエッジ部がなくなって欠けや割れによる不良がなくなる。

Claim (excerpt)：

対向する二平面の少なくとも一方の平面側に、この平面に交わる曲面を形成したことを特徴とする圧電素子。

IPC (6)：

A61B 8/00 , B06B 1/06 , G01N 29/24 , H01L 41/09 , H01L 41/26 , H04R 17/00

FI (6)：

A61B 8/00 , B06B 1/06 , G01N 29/24 , H04R 17/00 , H01L 41/08 C , H01L 41/22 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭55-106571
超音波探触子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-114260 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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