プラズマ発生用電源装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：宮田金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999208897
Publication number (International publication number)：2001035693
Application date： Jul. 23, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】ガス領域の静電容量値が誘電体の静電容量値に比べて無視できないような放電負荷に対しても、力率補償が行え、かつ小型で安価なプラズマ発生用電源装置を得る。【解決手段】対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成された放電負荷5に対し、交流電源1より整流器2、インバータ31、トランス4を介して交流高電圧を供給し、上記放電空間のガスを励起して、プラズマを発生させるプラズマ発生用電源装置において、トランス4の2次側に、放電負荷5に対して並列に、下記の式(1)を満足するインダクタンスを有する並列インダクタ62を設けた。1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1)ここで、L:インダクタンス[H]C1:誘電体の静電容量値[F]f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]C3:(C1×C2)/(C1+C2)で与えられる静電容量値[F]C2:ガス領域の静電容量値[F]

Claim (excerpt)：

対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両電極間に印加される交流高電圧により生じる電界によって上記放電空間のガスを励起し、プラズマを発生させる放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、上記トランスの2次側で、上記放電負荷に対して並列または直列に、下記の式(1)を満足するインダクタンスを有するように構成したことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。 1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1)ここで、L:インダクタンス[H]C1:誘電体の静電容量値[F]f:両電極間に印加される交流電圧の周波数[Hz]C3:(C1×C2)/(C1+C2)で与えられる静電容量値[F]C2:ガス領域の静電容量値[F]

IPC (4)：

H05H 1/24 , C01B 13/11 , H01T 15/00 , H01T 23/00

FI (4)：

H05H 1/24 , C01B 13/11 A , H01T 15/00 C , H01T 23/00

F-Term (2)：

4G042CA01 , 4G042CD01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭54-134089
特開平3-016902
電源装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-346247 Applicant：株式会社荏原製作所

Show all

Return to Previous Page