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J-GLOBAL ID：200903093909610439

透明体のレーザ加工方法

Inventor：
池田 誠

About 池田 誠


Applicant, Patent owner：
日本板硝子株式会社

About 日本板硝子株式会社


Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997121341
Publication number (International publication number)：1998305374
Application date： May. 12, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：
【要約】【課題】 レーザを透過する透明体の表面を、微細かつ緻密にエッチング加工する方法を提供する。【解決手段】 レーザの吸収率が高い溶液を透明体の表面に常時接触させ、透明体との接触面付近の溶液にレーザを吸収させる。レーザを吸収した溶液は、気化し、透明体の表面に勢いよく衝突する。この結果、透明体の表面がエッチング加工される。
Claim (excerpt)：
単色吸収係数α≧13.8cm-1である溶液を接触させた透明体に、レーザを照射し、前記溶液と接触する透明体の界面部をエッチング処理する透明体のレーザ加工方法。
IPC (5)：
B23K 26/00 ,  B23K 26/00 320 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/12
FI (5)：
B23K 26/00 A ,  B23K 26/00 320 E ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 A ,  B23K 26/12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 特開昭62-180088
  • 特開昭62-180088
  • 特開平4-182093
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