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J-GLOBAL ID：200903094052834201

液晶ガラスのクリーニング方法

Inventor： 大坪 茂 ,  小関 良治
Applicant, Patent owner： 澁谷工業株式会社
Agent (1)： 神崎 真一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992242725
Publication number (International publication number)：1994067137
Application date： Aug. 19, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 ガラス基板5とそれを被覆した透明電極膜6とからなる液晶ガラス4に、エネルギ密度200mJ/cm2 ないし470mJ/cm2 のエキシマレーザを照射して、液晶ガラス4の表面のクリーニングを行う。【効果】 油脂等の有機物9や微小な塵埃を除去できるだけでなく、透明電極膜6の表面に一体に付着した該透明電極膜6の原料となった粒子10までも、ほぼ完全に除去することができる。

Claim (excerpt)：

ガラス基板と、酸化インジウムおよび酸化スズとの混合物からなり上記ガラス基板を被覆した透明電極膜とを備えた液晶ガラスに、200mJ/cm2 ないし470mJ/cm2 のエネルギ密度のエキシマレーザを照射して、上記透明電極膜の表面をクリーニングすることを特徴とする液晶ガラスのクリーニング方法。

IPC (2)：

G02F 1/13 101 ,  C03C 23/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 薄膜トランジスタの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-162074   Applicant：株式会社リコー