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J-GLOBAL ID：200903094248729384

投影型露光装置用フィルター

Inventor： 福島 隆史 ,  杉原 孝志 ,  高木 悛公
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993218790
Publication number (International publication number)：1994333803
Application date： Sep. 02, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【構成】 投影型露光装置の基板に投影されるべきパターンの0次回折光を投影型露光装置の投影レンズの瞳面において実質的に0%に遮断する1つの円形不透光部と、この円形不透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの0次の回折光の一部及び+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において通過させる輪状半透光部と、この輪状半透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において実質的に100%通過させる輪状透光部とからなる投影型露光装置用フィルター。【効果】 投影レンズの瞳面に入射する0次の回析光の遮断と露光光の十分なエネルギーの確保という相反する要求を調整し、それによって投影露光装置の解像度を焦点裕度を下げることなく簡便に向上することができる。

Claim (excerpt)：

投影型露光装置の基板に投影されるべきパターンの0次回折光を投影型露光装置の投影レンズの瞳面において実質的に0%に遮断する1つの円形不透光部と、この円形不透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの0次の回折光の一部及び+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において通過させる輪状半透光部と、この輪状半透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において実質的に100%通過させる輪状透光部とからなる投影型露光装置用フィルター。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-143762   Applicant：ソニー株式会社
• 特開昭61-091662
  
• 特開昭54-007855