感光性樹脂組成物と該組成物を用いたパターン形成方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高橋明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153918
Publication number (International publication number)：1998003168
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】光反応により極性が変化する添加剤を用いた高感度、高解像度、高強度で耐熱性の優れたアルカリ溶剤現像可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下式〔1〕(式中、R1はオルトキノンジアジドスルホニル基、R2は炭素数2〜30の有機基、R3は炭素数1〜8のアルキル基または水素、nは0〜5、mは1〜6)で表される化合物を全樹脂量100重量部に対して1〜100重量部と、下式〔2〕(式中、R4は炭素数2〜20の有機基、R5は炭素数1〜20の有機基、水素原子、ハロゲン原子のいずれかである)で表される構造単位を有する分子量10,000〜1,000,000のカルボン酸重合体を全樹脂量に対して20重量%以上含む感光性樹脂組成物。【化9】

Claim (excerpt)：

式〔1〕【化1】(式中、R1はオルトキノンジアジドスルホニル基、R2は炭素数2〜30のアルキル基,アリール基,アルキルアリール基,複素環基、R3は炭素数1〜8のアルキル基または水素、nは0〜5、mは1〜6を示す。)で表される化合物を全樹脂量100重量部に対して1〜100重量部と、式〔2〕【化2】(式中、R4は炭素数2〜20のアルキル基,アリール基,アルキルアリール基,複素環基、R5は炭素数1〜20のアルキル基,水素原子,ハロゲン原子を示す。)で表される構造単位を有し、分子量10,000〜1,000,000のカルボン酸重合体を全樹脂量100重量部に対して20重量部以上含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/037 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (5)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/037 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-218051
特開平4-070659
特開平4-204945

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