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J-GLOBAL ID：200903094417505997

質量測定チップおよび質量測定装置

Inventor： 小倉 誠一郎 ,  小林 祥宏 ,  前田 佳男
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003057499
Publication number (International publication number)：2004264254
Application date： Mar. 04, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：

【課題】高感度化および低コスト化を両立することが可能な質量測定チップを提供する。【解決手段】圧電振動片20を備え、圧電振動片20を発振回路素子41に接続するためのセンサ側接続電極24a,24bが形成されたセンサ部10と、発振回路素子41を搭載し、発振回路素子41を圧電振動片20に接続するためのベース側接続電極44a,44bを形成したベース部30とを有し、センサ側接続電極24a,24bをベース側接続電極44a,44bに着脱自在に当接させて、圧電振動片20と発振回路素子41とを電気的に接続した。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

圧電振動片を備え、前記圧電振動片を発振回路に接続するためのセンサ側接続電極が形成されたセンサ部と、 発振回路を搭載し、前記発振回路を前記圧電振動片に接続するためのベース側接続電極を形成したベース部とを有し、 前記センサ側接続電極を前記ベース側接続電極に着脱自在に当接させて、前記圧電振動片と前記発振回路とを電気的に接続したことを特徴とする質量測定チップ。

IPC (3)：

G01G3/16 ,  G01G19/00 ,  G01N5/02

FI (3)：

G01G3/16 ,  G01G19/00 Z ,  G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• マルチチャンネルQCMセンサデバイス及びマルチチャンネルQCM測定システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-144239   Applicant：北斗電工株式会社, 株式会社明電舎