マルチチャンネルQCMセンサデバイス及びマルチチャンネルQCM測定システム

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：志賀富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999144239
Publication number (International publication number)：2000338022
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】水晶振動子の表裏面に複数の電極を対向させて縦横に配列形成したマルチチャンネルQCMセンサデバイスでは、各電極のリード部及び端子部が多くなるし、測定セルに必要な発振回路や接続切換回路が複雑になる。【解決手段】水晶基板41の表面に配列する電極は、例えば電極42A1,42A4,42A7を電極リード部431で1つの端子部441に引き出す。裏面に配列する電極は、例えば電極42B7,42B8,42B9を電極リード部453で1つの端子部463に引き出した構造とする。このセンサデバイスを使った測定システムは、水晶基板の表面に配列される電極から引き出された端子部441〜443と、裏面に配列される電極から引き出された端子部461〜463とを個別の発振回路等に接続又は順次切換えて1つの発振回路等に接続する測定セル構成とする。

Claim (excerpt)：

水晶基板の表面に複数の作用電極を縦横に配列形成し、水晶基板の裏面に各作用電極に対向させた複数の裏面電極を縦横に配列形成し、前記各作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの各電極部の電気的特性の変化から、試料に晒される各電極部別に試料成分の吸脱着を検知・定量するためのマルチチャンネルQCMセンサデバイスにおいて、前記各作用電極または各裏面電極のうち、一方の各電極を縦方向又は横方向で互いに接続した電極リード部で1つの端子部に引き出した構造、又は前記各作用電極及び各裏面電極の一方を縦方向で、他方を横方向で互いに接続した電極リード部で1つの端子部に引き出した構造、を特徴とするマルチチャンネルQCMセンサデバイス。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

マトリックス電極振動子およびそのセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-005791 Applicant：テルモ株式会社
塩基配列読み取り装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-029497 Applicant：テルモ株式会社
匂いセンサと匂い測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-347097 Applicant：東京電波株式会社, 相互薬工株式会社

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