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J-GLOBAL ID:200903094434575737

光学計測用炭素基板とその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  土屋 繁 ,  西山 雅也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003366197
Publication number (International publication number):2005127965
Application date: Oct. 27, 2003
Publication date: May. 19, 2005
Summary:
【課題】 不透明な材料を基板として用いて光学計測を可能とするため表面が極めて平坦な炭素基板を比較的低コストで提供する。【解決手段】 フラン樹脂などの熱硬化性樹脂に粒径10μm以下の黒鉛粉末を混合しシート状に成型後不活性雰囲気下で1400°Cで焼成して得られた炭素基板の表面を平坦に研削する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
ガラス状炭素と該ガラス状炭素中に均一に分散した結晶性炭素とを含む光学計測用炭素基板。
IPC (1):
G01N21/01
FI (1):
G01N21/01 B
F-Term (9):
2G045DA13 ,  2G045FA11 ,  2G045FA16 ,  2G045FB16 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD13 ,  2G059KK07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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