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J-GLOBAL ID：200903094619141148

センサ装置

Inventor： 池田 正哲 ,  後藤 博史 ,  坂田 稔
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 牛久 健司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996103855
Publication number (International publication number)：1997269459
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】 機能素子を三次元に集積することができる小型のセンサ装置を提供する。【構成】 センサ装置は第1基板10,第2基板50および第3基板100 から構成される。第1基板10に振動子16,光源12,弾性変形部20,歪み検出素子22,歪み信号処理回路24,加振部28が設けられている。第2基板50の前面に受光素子56および受光信号処理回路64が形成されている。基板50,10および100 に形成された接続電極70〜76,30〜44,110 〜124 はそれぞれ電気的に接続される。

Claim (excerpt)：

振動子と,上記振動子に設けられた光源と,上記振動子を支持する少なくとも一つの共振振動モードを有する弾性変形部と,上記共振振動モードの共振周波数を含む振動を与える加振部とが形成された第1基板,および上記光源からの光ビームを通すための窓と,検出対象からの反射光を受光するための受光素子が形成された,上記第1基板の一面側に配置された第2基板,を備えたセンサ装置。

IPC (5)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/10 101 ,  G01B 11/00 ,  G01D 5/26 ,  H04N 1/028

FI (6)：

G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 G ,  G02B 26/10 101 ,  G01B 11/00 Z ,  G01D 5/26 Z ,  H04N 1/028 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 基板上に集積したレーザー走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-040159   Applicant：シンボルテクノロジイズインコーポレイテッド
• 光センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-208765   Applicant：古河電気工業株式会社
• 振動子及び光スキャナ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-100433   Applicant：オムロン株式会社