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J-GLOBAL ID：200903094838701795

端面研磨機

Inventor： 吉田 仁
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 高橋 詔男 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997081237
Publication number (International publication number)：1998277899
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 複数枚のガラス基板の一括処理が行え、異なるサイズのガラス基板にも容易に対応でき、良好な端面研磨形状が得られる端面研磨機を提供する。【解決手段】 ガラス基板1を保持する基板受け部の幅がガラス基板のサイズに合わせて自動調節可能とされ、複数の基板受け部によって複数枚のガラス基板を多段に収納するカセット型ステージ2と、複数枚のガラス基板の端面と接触するように複数の凹型砥石3が多段に設けられた砥石部4と、この砥石部が取り付けられカセット型ステージの両側に配置された回転軸9と、ガラス基板の幅と研磨量に合わせて回転軸を自動的に移動させる回転軸位置決め部5、を具備する。

Claim (excerpt)：

矩形のガラス基板を保持する基板受け部の幅がガラス基板のサイズに合わせて自動調節可能とされ、複数の基板受け部によって複数枚のガラス基板を多段に収納するカセット型ステージと、このカセット型ステージに保持された複数枚のガラス基板の端面と接触するように、研磨面の中央部が窪んだ複数の凹型砥石が多段に設けられた砥石部と、この砥石部が取り付けられ、ガラス基板の2辺を処理するために前記カセット型ステージの両側に配置された第1の回転軸と、ガラス基板の幅と研磨量に合わせて前記第1の回転軸を自動的に移動させ、位置固定させる回転軸位置決め部を具備したことを特徴とする端面研磨機。

IPC (2)：

B24B 9/10 ,  C03B 32/00

FI (2)：

B24B 9/10 D ,  C03B 32/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ガラス基板の研磨方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-010098   Applicant：三星ダイヤモンド工業株式会社
• ブラシ研磨用保持具及びそれを用いたブラシ研磨装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-062338   Applicant：ホーヤ株式会社