ガラス基板の研磨方法および装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995010098
Publication number (International publication number)：1996197402
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】研磨時間を短縮し、かつ、精度の良い研磨加工を行う。【構成】固定したワークの各辺縁に対峙するようにして研磨機を設け、これらの研磨機を各辺縁に当接させた状態で同時に移動させることにより、複数の辺縁に対して同時に研磨加工を行う。

Claim (excerpt)：

吸着テーブル上の所定位置にセットしたガラス板に対し、各辺縁に対峙して4台の研磨機を備え、研磨辺縁数に応じて必要台数の研磨機を、辺縁に当接させた状態で同時に移動させることにより、各辺縁を同時に研磨することを特徴とするガラス基板の研磨方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平4-002459
特開平4-002459
被処理体の位置合わせ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-202957 Applicant：東京エレクトロン山梨株式会社

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