高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995344237
Publication number (International publication number)：1997183666
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】窒化けい素焼結体が本来備える高強度特性に加えて、熱伝導率が高く放熱性に優れた窒化けい素焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】希土類元素を酸化物に換算して7.5重量%を超え17.5重量%以下、必要に応じて窒化アルミニウムおよびアルミナの少なくとも一方を1.0重量%以下、必要に応じてTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,Wの酸化物、炭化物、窒化物、けい化物、硼化物からなる群より選択される少なくとも1種を0.1〜3.0重量%、その他不純物陽イオン元素としてLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを合計で0.3重量%以下含有し、β相型窒化けい素結晶および粒界相から成ることを特徴とする。この焼結体は粒界相中における結晶化合物相の粒界相全体に対する割合が20%以上であり、さらに気孔率が容量比で2.5%以下、熱伝導率が80W/m・K以上、三点曲げ強度が室温で650MPa以上である。

Claim (excerpt)：

希土類元素を酸化物に換算して7.5重量%を超え17.5重量%以下、不純物陽イオン元素としてのLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを合計で0.3重量%以下含有し、熱伝導率が80W/m・K以上であることを特徴とする高熱伝導性窒化けい素焼結体。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-192559 Applicant：株式会社東芝
高熱伝導性窒化けい素構造部材および半導体パッケージ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-333595 Applicant：株式会社東芝
特開平3-199166

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