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J-GLOBAL ID：200903095334158418

赤外線デバイス用集積シリコン真空マイクロパッケージ

Inventor： ヒガシ,ロバート・イー ,  リドレイ,ジェフリー・エイ ,  ストラトン,トーマス・ジイ
Applicant, Patent owner： ハネウエル・インコーポレーテッド
Agent (1)： 山川 政樹 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995516908
Publication number (International publication number)：1997506712
Application date： Dec. 12, 1994
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】赤外線検出器または放射素子アレイを有する赤外線透過性ウィンドウまたはトップキャップを有する2枚のウエハまたはダイを互いに結合する効率的な方法によって安価な赤外線パッケージを製造する。これらのウエハの間には、低熱伝導性気体を封入して熱絶縁を改善することができる。ウエハの接合は好ましくは半田によって行うが、超音波ボンディング法を用いてもよい。

Claim (excerpt)：

赤外線検出器アレイの形で作り込まれた赤外線検出器ユニットを有するウエハと、パターニングされた半田層によって該赤外線検出器アレイからシール性をもって離間された赤外線透過性材料のトップキャップウエハとを特徴とする赤外線検出器真空パッケージ。

IPC (3)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/02

FI (3)：

G01J 1/02 C ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平4-158583
  
• 赤外線検知器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-304479   Applicant：富士通株式会社
• 特開平2-298827
  
• 特開昭60-047928
  
• 赤外線センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-297311   Applicant：テルモ株式会社